精密光学用スパッタリングターゲット
親和物産株式会社では、ドイツ・GfE社製の精密光学用スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ Nb平形ターゲット(使用済品) ] |
 [ TaOx円筒型ターゲット ] |
ある特定の波長のみ透過させる特殊なガラスフィルター(光学フィルター)など、精密光学(Precision Optics)部品には高品質の多層膜が必要になります。
親和物産株式会社にて、以下のGfE社製精密光学用スパッタリングターゲットを取り扱っております。
【 平形ターゲット 】
・ Nb(ニオブ) ターゲット(Nb2O5成膜用)
純度(Nb+Ta): 99.9%、均一で微細な結晶
・ Si(シリコン) ターゲット(SiO2成膜用)
純度(Si+B): 99.999%、抵抗: 0.005-0.03Ωcm
【 円筒型ターゲット 】
・NbOx円筒ターゲット(Nb2O5成膜用)
・TaOx円筒ターゲット(Ta2O5成膜用)
・高純度Si円筒ターゲット(SiO2成膜用)
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
