亜酸化ニオブ/NbOx平型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の亜酸化ニオブ/NbOx平型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ NbOx平型ターゲット顕微鏡写真 ] |
 [ NbOx平型ターゲット外観 ] |
亜酸化ニオブ/NbOx平型ターゲットは熱間等方圧加圧法(HIP)と機械加工により製造されます。
【用途】
NbOx平型ターゲットは、絶縁コーティングや多層コーティングでの透明な高屈折率膜の製造用として使用されます。酸化ニオブは可視領域(550nm)で最大2.3の屈折率を有し、TiO2など他の酸化物との組み合わせでも固く安定した層を形成できます。
酸化ニオブの薄膜は摩耗や腐食にも強く、光学ガラスの屈折率等を上げる目的で精密光学分野で使われたり、ディスプレイ製造用で透明な高屈折率膜としても使われたりもします。
【純度】
NbOx 99.9%以上
【形状】
分割型で厚さ最大12mm。
※他の平型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
