平型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の平型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ iZnO平型ターゲット ] |
 [ Nb平型ターゲット ] ※使用済み品 |
【 GfE社製平型スパッタリングターゲット材料一覧 】
・ Ag/銀
・ Cu/銅
・ Cr/クロム
・ HfO2/酸化ハフニウム
・ HfO2+ZrO2/酸化ハフニウム＋酸化ジルコニウム
・ Mo/モリブデン
・ Nb/ニオブ
・ Nb2O5/NbO2/酸化ニオブ
・ NbOx/亜酸化ニオブ
・ NiCr/ニッケルクロム
・ NiV/ニッケルバナジウム
・ Si/シリコン
・ SiO2/酸化シリコン(シリカ)
・ Ta/タンタル
・ TiOx/亜酸化チタン
・ ZnO/酸化亜鉛
・ ZnO+Al2O3/酸化亜鉛＋酸化アルミニウム
・ ZnO+Ga2O3/酸化亜鉛＋酸化ガリウム
・ ZnO+MgO/酸化亜鉛＋酸化マグネシウム
※上記以外の材料についてはお問い合わせください。
※円筒型スパッタリングターゲットについてはこちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
