酸化亜鉛+酸化ガリウム/ZnO+Ga2O3平型スパッタリングターゲット

親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の酸化亜鉛+酸化ガリウム/ZnO+Ga2O3平型スパッタリングターゲットを取り扱っています。


[ ZnO+Ga2O3平型ターゲット顕微鏡写真 ]

[ ZnO+Ga2O3平型ターゲット外観 ]

ZnO+Ga2O3平型ターゲットはプレス焼結及び機械加工にて製造されます。

【用途】
ZnO+Ga2O3平型ターゲットは、透明導電酸化物(TCO = Transparent Conductive Oxide)の膜形成用に使用されます。基本的にDCまたはパルスDCにてスパッタ、基板はガラスまたはフィルムになります。

【純度】
ZnO+Ga2O3 99.95%以上

【組成比】
Ga2O3: 5±0.1 wt%
※他の組成はお問合せください。

【サイズ】
厚み: 分割タイプで最大14mm

他の平型ターゲットについては、こちらをご参照ください。


詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。


取扱品目

GfE Unternehmensprofil

親和物産株式会社はドイツ・GfE社の日本代理店です。


お問い合せ

■ 本社


〒105-0003
東京都港区西新橋1-14-2号
新橋SYビル4階

■ 大阪支店

〒530-0001
大阪市北区梅田1-2-2-1100号
大阪駅前第二ビル11階15号

親和物産株式会社