円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ Si円筒型ターゲット ] ※溶射・表面研磨品(ドッグボーン形状) |
 [ NbOx円筒型ターゲット ] ※溶射・表面スムース処理品 |
【 GfE社製円筒型スパッタリングターゲット材料一覧 】
・ Ag/銀
・ Al/アルミニウム
・ C/カーボン/グラファイト
・ Cr/クロム
・ Cu/銅
・ Mo/モリブデン
・ NbOx/亜酸化ニオブ
・ NiCr/ニッケルクロム
・ NiV/ニッケルバナジウム
・ Si/シリコン
・ SiAl/シリコンアルミニウム
・ Sn/錫
・ TaOx/亜酸化タンタル
・ TiOx/亜酸化チタン
・ W/タングステン
・ Zn/亜鉛
・ ZnAl/亜鉛アルミニウム
・ ZnO/酸化亜鉛(ドープ無し)
・ ZnO/酸化亜鉛(Al2O3微量ドープ)
・ ZnO+Al2O3/酸化亜鉛+酸化アルミニウム
・ ZnO+MgO/酸化亜鉛＋酸化マグネシウム
・ ZnSn/亜鉛錫
※上記以外の材料についてはお問い合わせください。
※平型スパッタリングターゲットについてはこちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
