銅/Cu円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の銅/Cu円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ Cu円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] |
 [ Cu円筒型ターゲット外観 ] |
銅/Cu円筒型ターゲットは1) 溶射、または2) 鋳造、押出、機械加工により製造されます
【用途】
1) 溶射品: 太陽電池の背面電極用。
2) 鋳造＋押出品: ディスプレイ、太陽電池、ガラスコーティングなど。酸素雰囲気のリアクティブスパッタで黒色の酸化銅成膜も可能。
【純度】
1) 溶射品: メタル純分 99.99%以上
2) 鋳造+押出品: メタル純分 99.99%以上(無酸素銅)
【サイズと仕上げ】
1) 溶射品:
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で14mm
表面状態: 旋盤上がり
2) 鋳造+押出品:
長さ: 最長で3メートル
外径: 最大で175mm
表面状態: 旋盤上がり
→2) 鋳造＋押出品は両端を溶接でステンレス製にすることも可能です(機械的安定性を保つ目的)。
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
