酸化亜鉛+酸化マグネシウム/ZnO+MgO円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の酸化亜鉛+酸化マグネシウム/ZnO+MgO円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ ZnO+MgO円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] |
 [ ZnO+MgO円筒型ターゲット外観 ] |
酸化亜鉛+酸化マグネシウム/ZnO+MgO円筒型スパッタリングターゲットはプレス焼結にて製造されます。
プレス焼結品のZnO+MgOのセグメントは、バッキングチューブ上に摩擦ロック(Freiloc®V3)またはボンディング(Freiloc®V4)されます。
【用途】
ZnO+MgO円筒型ターゲットは、主に太陽電池セルの透明導電酸化物の膜形成用に使用されます。基板は主にガラスまたはフィルムが使用されます。
【純度】
99.9%以上
【組成比】
MgO 4〜10wt%
Al2O3ドーピング 0.5wt%未満
※別の組成比が必要な場合にはお問い合わせください。
【サイズと仕上げ】
長さ: 最長で4メートル
厚み: 14mm
形状: ストレート円筒またはドッグボーン
表面状態: 研磨仕上げ
-> ZnO+MgO円筒型ターゲットのバッキングチューブは再生可能です。
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
