酸化亜鉛/iZnO円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の酸化亜鉛/iZnO円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ iZnO円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] |
 [ iZnO円筒型ターゲット外観 ] |
酸化亜鉛/iZnO円筒型ターゲットはプレス焼結、表面仕上げ、Freiloc®ボンディングにて製造されます。用途によりZnOのセグメントは、バッキングチューブ上に摩擦ロック(Freiloc®V3)されます。
【用途】
iZnO円筒型ターゲットは、透明バリア層の製造に使用されます。本ターゲットは主にパルスDCにてスパッタされます。主に太陽電池用やウェブコーティング用として使用され、ガラスまたはフィルムが基板となります。
【純度】
ZnO 99.95%以上
【サイズと仕上げ】
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で18mm
形状: ストレート円筒またはドッグボーン
表面状態: 研磨仕上げ
-> バッキングチューブは再生可能です。
-> 酸化亜鉛/ZnO円筒型スパッタリングターゲット(Al2O3微量ドープ)はこちらをご参照ください。
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
