酸化亜鉛/ZnO円筒型スパッタリングターゲット(Al2O3微量ドープ)
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の酸化亜鉛/ZnO円筒型スパッタリングターゲット(Al2O3微量ドープ)を取り扱っています。
 [ ZnO円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] ※Al2O3微量ドープ品です。 |
 [ ZnO円筒型ターゲット外観 ] ※Al2O3微量ドープ品です。 |
酸化亜鉛/ZnO円筒型ターゲット(Al2O3微量ドープ)はプレス焼結、表面仕上げ、Freiloc®ボンディングにて製造されます。用途によりZnOのセグメントは、バッキングチューブ上に摩擦ロック(Freiloc®V3)またはボンディング(Freiloc®V4)されます。
【用途】
ZnO円筒型ターゲット(Al2O3微量ドープ)は、ドーピング無しiZnOの代替品となります。本ターゲットは高圧のパルスDCまたはDCにてスパッタ可能です。主に太陽電池のセル用として使用されます。主にガラスまたはフィルムが基板となります。
【純度】
99.95%以上
【サイズと仕上げ】
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で18mm (標準厚み: 14mmまたは18mm)
形状: ストレート円筒またはドッグボーン
表面状態: 研磨仕上げ
-> Freiloc®ボンディングされたバッキングチューブは再生可能です。
-> 酸化亜鉛/ZnO円筒型スパッタリングターゲット(ドープ無し)はこちらをご参照ください。
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
