酸化亜鉛+酸化アルミニウム/ZnO+Al2O3円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製の酸化亜鉛+酸化アルミニウム/ZnO+Al2O3円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ ZnO+Al2O3円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] ※AZOY®ターゲットの写真です。 |
 [ ZnO+Al2O3円筒型ターゲット外観 ] ※AZOY®ターゲットの写真です。 |
酸化亜鉛+酸化アルミニウム/ZnO+Al2O3円筒型スパッタリングターゲットは1)プレス焼結(AZOY®)または2)溶射にて製造されます。
プレス焼結品のAZOY®のセグメントは、バッキングチューブ上に摩擦ロック(Freiloc®V3)またはボンディング(Freiloc®V4)されます。
【用途】
ZnO+Al2O3円筒型ターゲットは、透明導電酸化物(TCO = Transparent Conductive Oxide)の膜形成用に使用されます。基本的にDCまたはパルスDCにてスパッタ、基板はガラスまたはフィルムになります。
【純度】
1) プレス焼結品 AZOY®: 99.95%以上
2) 溶射品: 99.9%以上
【組成比】
ZnO/Al2O3 - 98:2wt%または99:1wt%
※別の組成比が必要な場合にはお問い合わせください。
【サイズと仕上げ】
1) プレス焼結品 AZOY®
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で20mm (標準厚み: 14mmと18mm)
形状: ストレート円筒またはドッグボーン
表面状態: 研磨仕上げ
2) 溶射品
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で10mm
表面状態: 研磨仕上げ
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
