シリコン/Si円筒型スパッタリングターゲット
親和物産株式会社ではドイツ・GfE社製のシリコン/Si円筒型スパッタリングターゲットを取り扱っています。
 [ Si円筒型ターゲット顕微鏡写真 ] |
 [ Si円筒型ターゲット外観 ] |
シリコン/Si円筒型ターゲットは溶射にて製造されます。
【用途】
Si円筒ターゲットは酸化物膜または窒化物膜を形成する目的で使用され、主に3N品(Si 99.9%以上)がガラスコーティング用またはディスプレイ用、4N品(Si 99.99%以上)が太陽電池用となります。
【純度】
メタル純分で3N品(Si 99.9%以上)、4N品(Si 99.99%以上)の2種類があります。
【サイズと仕上げ】
長さ: 最長で4メートル
厚み: 最大で9mm
表面状態: 研磨上がり
※他の円筒型ターゲットについては、こちらをご参照ください。
詳細は親和物産株式会社までメール、またはお電話 03(3503)6866 にてお問い合わせください。
